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標準狀況下為難溶於水無色有毒氣體,液態、固態呈藍色。由於帶有自由基,化學性質非常活潑。與氧反應後,可形成具有腐蝕性的氣體-NO2。應用於半導體Oxidation/CVD製程。

Specification

產品名稱   規格   
 PURITY PACKAGE VALVE CONTENT
 NO 3N 44L CGA660  1.68m³