SF6

是一種無色、無味、無毒的氣體，不可燃，微溶於水，是常用的致冷劑及輸配電設備的絕緣與防電弧氣體， 電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用於微電子技術領域。