SF6

是一种无色、无味、无毒的气体，不可燃，微溶于水，是常用的致冷剂及输配电设备的绝缘与防电弧气体， 电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。